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2019-04-09
2019-04-09
我公司研发制造的半导体光刻机专用超精密气浮导轨通过韩国LTD亨利特公司的验收
2019-04-09
2018年11月我公司与韩国LTD亨利特公司签订了为其半导体光刻机提供气浮导轨的供货合同。 我公司根据客户提出的技术要求，提出了详细的设计制...
2014-08-05
2014-08-05
高精度加工机床的关键部件技术（一）
2014-08-05
1 引言 高精度加工机床的研制开发始于20世纪60年代。当时在美国因开发激光核聚变实验装置和红外线实验装置需要大型金属反射镜，因而急需开发制...
2014-07-19
2014-07-19
超精密加工机床的关键部件技术（二）
2014-07-19
4 进给与微量进给系统 进给系统中常用的是各种进给丝杠，在高精度加工机床中滚珠丝杠因其反向间隙小、传动效率高而广泛的应用。精度更高的静压...
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